1.表面預處理對金屬蝕刻的影響
基板表面經清潔處理后再進行涂覆感光膠之前預先進行必要的預處理，一則會增加對感光膠的粘附力，二則明顯改善層下蝕刻的精度，預處理的方法主要包括：氧化，還原、更新金屬表面、表面微粗糙化等，鎳、鎂、鋅、鋼通常所采用的轉化層，是通過浸入H3PO4為基的溶液，鋁所使用的是鉻酸鹽轉化膜或直接進行陽極處理，正確選擇轉化層對減小層下切割有很大的意義，轉化層使金屬基體與表面的蝕刻速度出現了差異，有轉化層的表面，比金屬本身蝕刻速度要慢一些，同時轉化層提高了感光膠的粘附力，以上兩個原因，都使蝕刻系數減小。從而使對金屬加工的尺寸控制更加有效，合適的轉化層能使蝕刻系數減少約為2/3.
2.防蝕層對蝕刻的影響
防蝕層質量不管是對蝕刻加工精度和蝕刻加工圖文表面質量，都會產生明顯影響防蝕層質量不良對蝕刻影響主要包括以下兩個方面：
（1）防蝕層和基體金屬的結合力：如果防蝕層和基體金屬結合力不好，在蝕刻過程中就會造成防蝕層脫落，使蝕刻圖文變形。影響防蝕層結合力的因素主要有三個方面①金屬材料表面預處理質量：只有符合某一金屬材料所要求的預處理效果才能保證防蝕材料能與金屬表面保持優良結合②防蝕材料的質量③防蝕層制作質量。只有這三個方面的質量都達到盡可能完美的情況下，才能寄希望于防蝕層與金屬表面的可靠結合。
（2）防蝕層材料的抗蝕能力：在進行金屬蝕刻時，所采用的都是一些強酸強堿，他們都具有很強的腐蝕性，在對金屬材料進行腐蝕時，也會對防蝕材料造成一定的破壞，所以在選擇防蝕材料時要經過耐心的反復試驗，只有當確定某一防蝕材料在確定的腐蝕劑濃度，以及蝕刻條件變化范圍內都能保證不脫落、不變形、不起層的情況下，才可以用于大批量生產中。